荏原製作所、藤沢事業所に排ガス処理装置などの専用開発棟

 荏原製作所は、2019年6月の稼働を目指して藤沢事業所(神奈川県藤沢市)でドライ真空ポンプや排ガス処理装置専用の実験開発棟を建設する。半導体製造装置向けに需要が高まっているほか、多種多様な要望に応えるため開発機能を強化する。このほか、同事...

ここからは有料記事になります。ログインしてご覧ください。

関連記事