半導体後工程自動化パイロットラインのイメージ
インテルやオムロン、ヤマハ発動機など１５者は７日、半導体の「後工程」自動化をめざす「半導体後工程自動化・標準化技術研究組合」（ＳＡＴＡＳ、サタス）を設立したと発表した。工程自動化に必要な技術や、オープンな業界標準仕様の作成、装置の開発と実...
インテルやオムロン、ヤマハ発動機など１５者は７日、半導体の「後工程」自動化をめざす「半導体後工程自動化・標準化技術研究組合」（ＳＡＴＡＳ、サタス）を設立したと発表した。工程自動化に必要な技術や、オープンな業界標準仕様の作成、装置の開発と実...
