住友電気工業、SiCパワーデバイス用基板を量産

 住友電気工業は、半導体の基板上に結晶を成長させるエピタキシャル層に含まれる欠陥を低減したSiC(炭化ケイ素)パワーデバイス用エピタキシャル基板「エピエラ」の量産を開始したと発表した。独自のSiC成長技術「MPZ」を活用し、4インチ(100...

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