オーストリアのＥＶグループは、日本拠点のイーヴィグループジャパン（山本宏代表、横浜市保土ヶ谷区）が東京大学から化合物半導体研究用途としてプラズマ活性化装置「ＥＶＧ８１０ＬＴ」を受注したと発表した。 トランジスタ縮小（スケーリング）での半導...
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