三菱重工工作機械、DUVレーザーを採用 微細加工機に新モデル

 三菱重工業グループの三菱重工工作機械は、短パルスの深紫外(DUV)レーザーを採用した微細レーザー加工機の新モデルを開発したと発表した。DUVレーザーの特性と集光光学系の最適設計により穴あけをはじめとする超精密加工を高精度に実現する。 微細...

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