豊田通商は、関西学院大学、山梨技術工房（高石修二社長、山梨県南アルプス市）と共同で、パワー半導体向けＳｉＣ（炭化ケイ素）ウエハーの製造工程で生じる結晶の歪みを検査する技術を開発したと発表した。今後、今回の技術を実装したウエハー検査装置の早...
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