昭和電工は８日、従来比６倍の表面平滑性をもったパワー半導体用ＳiＣ（炭化シリコン）ウェハーの量産に成功したと発表した。ウェハー全面が世界最高水準の表面平滑性を持つ４インチ径のエピタキシャルウェハーを量産した。自動車や鉄道車両などの駆動用モ...
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