6インチ超のGaN基板（GaN種結晶）
豊田合成は１５日、大阪大学と共同で窒化ガリウム（ＧａＮ）を用いた次世代パワー半導体向け基板の大口径化に成功したとを発表した。今後は基板量産化に向けた品質の評価などを行い、さらなる品質改善と大口径化を進めるとしている。 次世代パワー半導体の...
豊田合成は１５日、大阪大学と共同で窒化ガリウム（ＧａＮ）を用いた次世代パワー半導体向け基板の大口径化に成功したとを発表した。今後は基板量産化に向けた品質の評価などを行い、さらなる品質改善と大口径化を進めるとしている。 次世代パワー半導体の...
